Werkzeug Technik : Inhaltsverzeichnis Heft Nummer 121

Interferometer Probe WIP – hochgenau messen mit kleinen Sonden

Der WIP ist ein berührungsloser faseroptischer Abstandssensor zur hochgenauen Messung von Geometrie, Form und Rauheit mit Werth Multisensor-Koordinatenmessgeräten. Die optische „Antastung“ der Bauteile erfolgt über eine sehr dünne Glasfasersonde und eine interferometrische Auswertung der Signale. Aufgrund der kleinen Sondengeometrie eignet sich der WIP besonders zur Erfassung schwer zugänglicher geometrischer Merkmale wie kleiner oder tiefer Bohrungen (Einspritzdüsen, Turbinenschaufeln) und Nuten (Läufer von Elektromotoren). Der Sensor ist aufgrund seiner geringen Antastabweichung von 0,25 Mikrometern darüber hinaus auch für die Messung von optischen Bauteilen, lithografischen Strukturen auf Glas oder von Strukturen auf Wafern geeignet.

Verschiedene Sonden mit unterschiedlicher Messrichtung und Größe können über die Werth-Magnetschnittstelle vollautomatisch getauscht bzw. im Wechselmagazin abgelegt werden. Die Sonden besitzen typischerweise Durchmesser von 0,1 bis 1 mm und Längen zwischen 5 mm und 50 mm. Auf Wunsch können aber auch Spezialsonden gefertigt werden. In Kombination mit einer Werth-Zoomoptik kann der Antastvorgang bedienerfreundlich auf dem Bildverarbeitungsmonitor beobachtet werden.

Artikel erschienen in WT 121 auf Seite 60.

WERTH MESSTECHNIK GMBH

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