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Innovative und erfolgreiche Beschichtungslösungen in der PVD Arc- und Sputtertechnologie
Das modulare Anlagenkonzept der METAPLAS-DOMINO-Serie kann speziell auf individuelle Bedürfnisse und Ansprüche zugeschnitten werden. Das gesamte Spektrum der Dünnfilm Beschichtungstechnologien steht zur Verfügung. Neben Arc- und Sputter-Modulen, DLC-Modulen und der Realisierung von Kombibehandlungen – der Kombination von PVD-Beschichtung und Plasmanitrieren – bietet das Anlagenkonzept mit seiner HIPAC (High Ionisation Plasma Assisted Coating)-Technologie einen der innovativsten Ansätze in der Oberflächenbeschichtung an. Die Verfügbarkeit zweier Hochionisationsprozesse, wie HIPAC und APA-Arc, ermöglicht es des Weiteren, diese zu einem Hybridverfahren zu verbinden.
Die HIPAC-Technologie stellt eine Weiterentwicklung des hochionisierten Prozesses HIPIMS (High-Power Impulse Magnetron Sputtering) dar und wurde speziell auf industrielle Bedürfnisse ausgelegt. Sie verbindet die Vorteile der HIPIMS und der patentierten hoch effizienten Ätztechnololgie AEGD (Arc-Enhanced Glow Discharge). Diese Technik ermöglicht einen hohen Ionisationsgrad ähnlich dem Arc-Prozess. Durch die hohe Plasmadichte können besonders fehlerfreie Schichten mit hoher Dichte erzeugt werden. Die Schichten sind dabei sehr glatt und bereits ab einer Temperatur von 60°C haftfest applizierbar.
Das Zerstäuben von Metallen und anderen Beschichtungsmaterialien durch das HIPAC-Verfahren beruht auf dem Pulsen bei kleinen Frequenzen der Sollspannung (kleiner als 2 kHz) und Tastverhältnissen von weniger als 10%. Durch die durchschnittlich klein gehaltene Leistung kann eine hohe Ladungsdichte im Plasma realisiert werden. Diese Verbesserung unterstützt die Kontrolle des Abscheidungsprozesses und ermöglicht auch die Abscheidung von Hybridschichten (z.B. Arc und HIPAC). So können Schichtzusammensetzungen und Mikrostrukturen optimal zugeschnitten und verbessert werden.
Neben der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Anlagentechnologie treibt Sulzer Metaplas GmbH sein Schichtportfolio voran. Besonders in der Optimierung von Werkzeugen für die Zerspanung, Umformung und Kunststoffverarbeitung liegen die Stärken des Unternehmens, die zusammen mit den eigenen Beschichtungszentren weiterentwickelt wird. Die für diese Bereiche bereits eingeführten MPAPC-Schichten werden stetig erweitert und optimiert um Kundenbedürfnissen optimal gerecht zu werden. So stehen MPAPC-Schichten, wie Mpower, Mtec und Mforce besonders für längere Standzeiten, höhere Qualitätsstandards und die Reduzierung von Verschleiß und Reibung der beschichteten Werkzeuge.
Artikel erschienen in WT 121 auf Seite 38.
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