Werkzeug Technik : Inhaltsverzeichnis Heft Nummer 97

Spannen filigraner Teile: Spannen für New Wafe

Gilt es extrem fragile Teile zu halten, ist eine besonders schonende Spannplattenoberfläche erforderlich. Witte Bleckede, spezialisiert auf die Fertigung anwendungsspezifischer Spannsysteme, verwendet dafür ein luftdurchlässiges Material, durch das die Werkstücke sanft und zugleich sicher fixiert werden. Eine Verformung der Werkstücke ist ausgeschlossen, da diese vollflächig angesaugt werden; es sind weder Bohrungen noch Nuten vorhanden, welche die dünnen Materialien, wie z.B. Folien, beschädigen könnten. Auf der gleichmäßig porösen Spannfläche können extrem empfindliche Materialien fixiert werden. Ein Vorteil gegenüber anderen Vakuumspanntechniken ist, dass freie Flächen nicht abgedeckt werden müssen. Somit können die Spannplatten für Werkstücke unterschiedlicher Größen/Maße eingesetzt werden.

Besonders in der Halbleiterindustrie und Mikroelektronik sind Vakuum-Sonderanfertigungen mit Metapor-Einsätzen gefragte und erprobte Spanntechniken.

Die Bearbeitung von Wafern erfordert besondere Behandlung. Die meist kreisrunden, wenige 100µm dicken Scheiben auf denen elektronische Bauelemente, wie integrierte Schaltkreise durch verschiedene technische Verfahren hergestellt werden, bestehen in den meisten Fällen aus Silizium. In der Mikrosystemtechnik werden auch Glas-Wafer mit einer Dicke von 1mm verwendet. Die Wafer werden in unterschiedlichen Durchmessern/Dimensionen gefertigt.

Hinsichtlich der Ebenheit der Wafer, der Perfektion der Politur und der Reinheit der Oberfläche gelten extreme Forderungen. Somit werden auch an die Spannsysteme hohe Anforderungen bezüglich der Präzision gestellt.

Artikel erschienen in WT 97 auf Seite 40.

HORST WITTE GERÄTEBAU

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